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(2)入刀點薄厚：（在硅片上出現(xiàn)薄厚的位置通常為入刀點至向上延伸6mm的區(qū)域）a.工作臺墊板更換錯誤。更換新導(dǎo)輪時，要根據(jù)導(dǎo)輪的直徑更換工作臺墊板（墊板厚度為305mm減去導(dǎo)輪直徑長度），墊板厚度錯誤會導(dǎo)致在設(shè)零點時，上工作臺的兩條晶棒與下工作臺的兩條晶棒距離線網(wǎng)高度不一致，導(dǎo)致入刀時線網(wǎng)不平穩(wěn)。

b.入刀階段砂漿流量大。由于入刀時鋼線處于不穩(wěn)定狀態(tài)，砂漿流量大會對線網(wǎng)造成沖擊，鋼線抖動，產(chǎn)生入刀薄厚片。

解決措施：a.根據(jù)導(dǎo)輪直徑，更換厚度值相當?shù)膲|板。

b.調(diào)整入刀階段砂漿流量工藝，控制好砂漿溫度和砂漿流量，減少對線網(wǎng)的沖擊力。

(3)硅片中部至出刀點薄厚：a.切割過程中，有碎片、碎導(dǎo)向條等雜質(zhì)混入砂漿中，隨著砂漿的流動和鋼線的轉(zhuǎn)動卷入導(dǎo)輪上的線網(wǎng)中，引起跳線和切斜，造成該區(qū)域的硅片中部至出刀點薄厚。

b.砂漿流量不合適。砂漿流量是否均勻、流量能否達到切割要求，對硅片切割起著關(guān)鍵性作用。若果切割過程中，砂漿流量時流時斷，則會造成切割力不均勻，導(dǎo)致產(chǎn)生薄厚片。

解決措施：a.開始切割前，將機床切割室內(nèi)的碎片清理干凈，更換切割室過濾網(wǎng)以及漿料缸內(nèi)的過濾桶、過濾袋等，保證機床潔凈度。
b.將切割室內(nèi)的漿料嘴清理干凈，打開砂漿，看漿料嘴噴出的砂簾是否完整無斷流。

(4)單片薄厚不均：a.鋼線張力異常，波動較大。鋼線張力是硅片切割工藝的核心要素，切割過程中，收放線軸的鋼線都要保持一定的張力（通常0.12mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為22N-24N，0.13mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為21N-23N），張力過大或過小都不利于懸浮在鋼線上的碳化硅顆粒進入鋸縫進行切割。鋼線張力正常波動范圍為±1N。導(dǎo)致鋼線張力異常的因素有：氣缸漏氣，張力臂滑輪或切割室入線口滑輪晃動或滑輪外套切偏。

b.導(dǎo)輪跳動較大。一般地，導(dǎo)輪徑向跳動＜30μm，軸向跳動＜20μm，導(dǎo)輪跳動過大則會引起線網(wǎng)抖動，導(dǎo)致硅片薄厚不均。

c.機床水平問題。機床不水平，則會在切割過程中產(chǎn)生較大的震動，從而導(dǎo)致線網(wǎng)抖動。

d.導(dǎo)輪問題。主要出現(xiàn)在新導(dǎo)輪或?qū)л啿蹏乐啬p的情況下，鋼線直徑和導(dǎo)輪槽根部直徑不能完全吻合。

解決措施：a.使用張力計對鋼線張力進行校驗，檢查氣缸漏氣情況、滑輪晃動情況及滑輪外套磨損情況，出現(xiàn)異常及時更換。

b.每次更換導(dǎo)輪后，都要檢測導(dǎo)輪跳動是否在正常范圍內(nèi)，如果不符合要求則要重新安裝導(dǎo)輪。

c.定期檢測機床水平，及時調(diào)整。

d.更換新導(dǎo)輪，切割第一鋸硅片之前，首先進行空切操作，將鋼線張力設(shè)高以達到勒導(dǎo)輪的目的，使得鋼線可以和導(dǎo)輪槽根部完全吻合。對于磨損嚴重的導(dǎo)輪則及時進行更換。

4 結(jié)語

通過對薄厚片的類型及產(chǎn)生原因進行分析，可以更好地減少薄厚片的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品的成品合格率。